桌面型多場輔助化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備
桌面型多場輔助化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備,最大兼容4英寸樣品，可定制特殊尺寸拋光頭。3-8氣路通道。使用專門結(jié)構(gòu)“兩點(diǎn)波珠定位"法蘭設(shè)
計(jì)。定位準(zhǔn)確，拆裝方便。

樣品加工尺寸：最大兼容4英寸，可定制特殊尺寸拋光頭。
工藝裝夾方式：手動(dòng)操作。
拋光頭下壓力：最大350N(根據(jù)需求可開放更高壓力)
拋光頭轉(zhuǎn)速：最高120RPM(根據(jù)需求可開放更高轉(zhuǎn)速)

拋光盤轉(zhuǎn)速：最高120RPM(根據(jù)需求可開放更高轉(zhuǎn)速)
拋光盤直徑：300mm。
拋光液：2路，流速最高200mL/min(根據(jù)需求可開放更高流量)
在線測量模塊：電機(jī)扭矩、轉(zhuǎn)速、氣壓等。
多場模塊：可選配電化學(xué)模塊、光催化模塊

 保持環(huán)/樣品獨(dú)立氣壓控制，可實(shí)現(xiàn)多段施壓。桌面型多場輔助化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備